Presentation Information
[7p-P03-46]Investigation of fabrication process for three-dimensional magnetic microstructure using nano-imprint technique
〇Yuichiro Kurokawa1, Kenji Tanabe2, Keisuke Yamada3, Satoshi Sumi2, Hiroyuki Awano2, Hiromi Yuasa1 (1.Kyushu Univ., 2.Toyota Tech. Inst., 3.Gifu Univ.)
Keywords:
Nano-imprint,Three-dimentional microstructure
磁気デバイスや磁気メモリの密度向上の為には、三次元構造を有する磁性パターンを作製することが重要である。この研究ではナノインプリントを用いた三次元磁性構造作製法を開発した。ナノインプリントは原盤と熱や紫外光などを用いて、三次元構造を作製する技術である。本研究ではシクロオレフィンポリマーの上に磁性薄膜を有するポリイミド(PI)フィルムを乗せ、ナノインプリントすることでPI上に三次元磁性構造を作製した。