[7p-P06-1~12] 3.6 Laser processing

[7p-P06-2] Photochemical Transparency of Amorphous Carbon Thin Films Using F₂ Laser (2)

〇DO VAN LE¹, Masayuki Okoshi¹ (1.NDA)

Keywords:

F2 laser,amorphous carbon,photochemical transparency

これまでわれわれは、アモルファス炭素（a-C）薄膜中のsp³炭素とsp²炭素の比を、薄膜形成後の表面に大気中でF₂レーザーを照射することで変化できる、新たな光化学表面改質法を見出してきた。本報告では、単一パルスのフルエンスをより低く設定することで、a-C薄膜の膜厚を薄くでき、かつ深さ方向全体を透明化できることを示す。また、薄膜中のsp³炭素とsp²炭素の比率を調べ、F₂レーザーによるsp²炭素の引き抜き反応を明らかにする。