講演情報
[7p-P06-2]F2 レーザーによるアモルファス炭素薄膜の光化学的透明化(2)
〇レ バン ドー1、大越 昌幸1 (1.防衛大電気電子)
キーワード：
F2レーザー、アモルファス炭素、光化学的透明化
これまでわれわれは、アモルファス炭素（a-C）薄膜中のsp3炭素とsp2炭素の比を、薄膜形成後の表面に大気中でF2レーザーを照射することで変化できる、新たな光化学表面改質法を見出してきた。本報告では、単一パルスのフルエンスをより低く設定することで、a-C薄膜の膜厚を薄くでき、かつ深さ方向全体を透明化できることを示す。また、薄膜中のsp3炭素とsp2炭素の比率を調べ、F2レーザーによるsp2炭素の引き抜き反応を明らかにする。