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[7p-P07-24]Quantitative Analysis of the Plume in YBCO Thin Film Deposition by PLD and Its Influence on Film Properties
〇Ryotaro Matsuda1, Iori Kadota1, Yuto Tanaka1, Noriyuki Taoka1, Yoshiyuki Seike1, Tatsuo Mori1, Yusuke Ichino1,5, Keiichi Horio2,5, Ataru Ichinose3,5, Tomoya Horide4,5, Kaname Matsumoto4,5, Yutaka Yoshida4,5 (1.Aichi Inst. of Technol., 2.Kyushu Inst. of Technol., 3.CRIEPI, 4.Nagoya Univ., 5.JST-CREST)
Keywords:
superconductivity,PLD method,plume
PLD法で観測されるプルームは、レーザーエネルギーや酸素圧力の揺らぎ、ターゲットの形状等の非定量的なパラメータに影響される。これによりYBCO薄膜の成膜環境の維持が難しく、同条件に設定して成膜しても超伝導特性の再現性がやや低いという課題がある。そこで、PLD法によるYBCO薄膜の再現性向上を目的とし、基礎検討として、プルームの色および形状変化の超伝導特性への影響を調査した。