講演情報
[7p-P07-24]PLD法によるYBCO薄膜成膜時におけるプルームの定量解析と薄膜への影響
〇松田 遼太郎1、角田 伊織1、田中 悠翔1、田岡 紀之1、清家 善之1、森 竜雄1、一野 祐亮1,5、堀尾 恵一2,5、一瀬 中3,5、堀出 朋哉4,5、松本 要4,5、吉田 隆4,5 (1.愛工大、2.九工大、3.電中研、4.名大、5.JST-CREST)
キーワード：
超伝導、PLD法、プルーム
PLD法で観測されるプルームは、レーザーエネルギーや酸素圧力の揺らぎ、ターゲットの形状等の非定量的なパラメータに影響される。これによりYBCO薄膜の成膜環境の維持が難しく、同条件に設定して成膜しても超伝導特性の再現性がやや低いという課題がある。そこで、PLD法によるYBCO薄膜の再現性向上を目的とし、基礎検討として、プルームの色および形状変化の超伝導特性への影響を調査した。