Presentation Information
[7p-P07-25]Deposition of YBCO thin films by Eclipse Nd:YAG-PLD Method for droplet suppression and optimization of experimental conditions using definitive screening design
〇Eijiro Okumura1, Gen Ieda1, Sota Tarumi1, Tsuyoshi Ogawa1, Noriyuki Taoka1, Yoshiyuki Seike1, Tatsuo Mori1, Yusuke Ichino1,5, Keiichi Horio2,5, Ataru Ichinose3,5, Tomoya Horide4,5, Kaname Matsumoto4,5, Yutaka Yoshida4,5 (1.Aichi Inst. of Tech., 2.Kyushu Inst. of Tech., 3.CRIEPI, 4.Nagoya Univ., 5.JST-CREST)
Keywords:
superconductivity,droplet,design of experiments
YBa₂Cu₃Oᵧ（YBCO）超伝導体の薄膜作製には、パルスレーザー蒸着（PLD）法が多く用いられる。しかし、Nd:YAGレーザーを用いたPLD法では、ターゲットから飛散するドロップレットが薄膜表面に多く付着する問題がある。これにより薄膜表面の評価が困難になるだけでなく、結晶成長や超伝導特性にも悪影響を及ぼす。そこで本研究では、エクリプスNd:YAG-PLD法の実験条件がYBCOエピタキシャル薄膜に与える影響を明らかにし、ドロップレット発生抑制の条件を探った。