Presentation Information
[7p-P08-6]Fabrication of vanadium oxide/tungsten oxide mixed thin films by a chemical solution deposition method and its applications for pH sensor toward biosensor application
〇Aoi Yamamoto1, Yoshiki Tate1, Yuichi Hirofuji1, Kazuto Koike1, Nobuya Hiroshiba1 (1.NMRC, OIT)
Keywords:
pH sensor,VOx,WO3
我々は，pHセンサーの電極材料に酸化バナジウム(VOX)を用いることで，酸性～中性領域においてネルンスト限界値を超える高いpHセンサー感度が得られることを報告してきた．一方で，塩基性領域でのpH測定ではVOx膜の溶解が確認され，安定したpH測定を行うことができていなかった．本発表では，VOXと酸化タングステン(WO3)の混晶膜を作製することで塩基性領域での安定したpH応答を確認したため，表面形状，結晶性とあわせて議論を行う．