[7p-S203-1~13] 17.1 Carbon nanotubes & other nanocarbon materials

1:30 PM - 1:45 PM JST(4:30 AM - 4:45 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[7p-S203-3] Surface cleaning of carbon nanotubes via electrochemical gas evolution reactions

〇Haruki Uchiyama¹, Yudai Yoshikawa¹, Yutaka Ohno^1,2 (1.Nagoya Univ., 2.IMaSS, Nagoya Univ.)

Keywords:

carbon nanotube,electrochemistry,surface cleaning

カーボンナノチューブ（CNT）薄膜における界面活性剤やレジストなどのプロセス残渣は，デバイス特性の劣化を引き起こすため，その除去が不可欠である．本研究では，電気化学的ガス発生反応を利用し，室温で実施可能な表面洗浄手法を開発した．ラマン分光および電気化学測定の結果，水素発生反応を用いることで，CNTの結晶性を損なうことなく界面活性剤を除去できることを示した．