講演情報
[7p-S203-3]電気化学的ガス発生反応を利用したカーボンナノチューブの表面洗浄
〇内山 晴貴1、吉川 雄大1、大野 雄高1,2 (1.名大工、2.名大未来研)
キーワード：
カーボンナノチューブ、電気化学、表面洗浄
カーボンナノチューブ（CNT）薄膜における界面活性剤やレジストなどのプロセス残渣は，デバイス特性の劣化を引き起こすため，その除去が不可欠である．本研究では，電気化学的ガス発生反応を利用し，室温で実施可能な表面洗浄手法を開発した．ラマン分光および電気化学測定の結果，水素発生反応を用いることで，CNTの結晶性を損なうことなく界面活性剤を除去できることを示した．