[8a-N321-1~9] 6.2 Carbon-based thin films

11:45 AM - 12:00 PM JST(2:45 AM - 3:00 AM UTC)

[8a-N321-9] Characteristics of solar cells with boron carbide films prepared by magnetron sputtering

〇Iori Akimoto¹, Yusuke Hayashi¹, Shota Ito¹, Yushi Suzuki¹, Yoshiharu Enta¹, Yasuyuki Kobayashi¹, Hideki Nakazawa¹ (1.Hirosaki Univ.)

Keywords:

boron carbide,magnetron sputtering,solar cell

RFマグネトロンスパッタによりn型Si(100)基板上に基板温度を変化させてアモルファス炭化ホウ素(B_xC)薄膜を成膜し、基板温度がB_xC薄膜の電気的特性および光学的特性に及ぼす影響を調べた。B_xC/n型Siヘテロ接合の光照射下の電流電圧特性を測定した結果、基板温度100 ℃で作製したB_xC/n-Siヘテロ接合において、最も高い短絡電流密度、開放電圧および変換効率が得られた。