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[8a-P02-1]Fabrication and Optical Characterization of a Terahertz Quantum Cascade Laser with a 23 µm-Thick Active Region and a Single-Metal Plasmonic Waveguide

〇Takayuki Ishida¹, Tsung-Tse Lin^1,2, Koki Yabe^1,3, Yuki Tsuda⁵, Yosuke Suzuki⁵, Keita Miyagawa⁵, Koichi Akiyama⁵, Li Wang^1,4, Sachie Fujikawa^1,3, Hiroyuki Yaguchi³, Hirayama Hideki¹ (1.RIKEN, 2.Tohoku Univ., 3.Saitama Univ., 4.EIT Ningbo, 5.MELCO)

Keywords:

Quantum cascade laser,THz,Plasmonic Waveguide

テラヘルツ量子カスケードレーザー（THz-QCL）は，高出力かつ高効率な半導体レーザー光源として注目されている．本研究では，約23 µmの厚さを有する活性領域を採用し，ウェットエッチングによってメサ形成した片面金属プラズモン導波路型THz-QCLの動作特性を評価した．

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