講演情報
[8a-P02-1]厚さ約23 µmの活性領域を有する片面金属プラズモン導波路型テラヘルツ量子カスケードレーザーの作製と光学評価
〇石田 峻之1、林 宗澤1,2、矢部 航輝1,3、津田 祐樹5、鈴木 洋介5、宮川 敬太5、秋山 浩一5、王 利1,4、藤川 紗千恵1,3、矢口 裕之3、平山 秀樹1 (1.理研、2.東北大、3.埼玉大、4.東方理工大、5.三菱電機)
キーワード：
量子カスケードレーザー、テラヘルツ、プラズモン導波路
テラヘルツ量子カスケードレーザー（THz-QCL）は，高出力かつ高効率な半導体レーザー光源として注目されている．本研究では，約23 µmの厚さを有する活性領域を採用し，ウェットエッチングによってメサ形成した片面金属プラズモン導波路型THz-QCLの動作特性を評価した．