Presentation Information
[8a-P05-16]Synthesis of In2S3 nanosheets by vertical chemical vapor deposition
〇(M1)Yuuta Tanaka1, Takashi Yanase1 (1.Toho Univ.)
Keywords:
indium sulfide,thin film,chemical vapor deposition
当研究室で独自に開発した流路分離式縦型化学気相蒸着装置を用いてIn2S3ナノシートの合成を行った．本装置の特徴は原料供給の独立制御と均一な蒸着が可能な点である．合成の結果，ドメインの向きが揃った三角結晶からなる橙赤色の薄膜が得られた．XRDから(103)方向に配向成長していることが確認され，Ramanスペクトルからβ-In2S3であると同定できた．