講演情報
[8a-P05-16]縦型化学気相蒸着法を用いたIn2S3ナノシートの合成
〇(M1)田中 優歌1、柳瀬 隆1 (1.東邦大理化)
キーワード：
硫化インジウム、薄膜、化学気相蒸着法
当研究室で独自に開発した流路分離式縦型化学気相蒸着装置を用いてIn2S3ナノシートの合成を行った．本装置の特徴は原料供給の独立制御と均一な蒸着が可能な点である．合成の結果，ドメインの向きが揃った三角結晶からなる橙赤色の薄膜が得られた．XRDから(103)方向に配向成長していることが確認され，Ramanスペクトルからβ-In2S3であると同定できた．