Presentation Information
[8a-P05-8]Preparation of VO2 thin films on glass using TiO2 buffer layer and their phase transition properties
〇(M1)RYOHEI WAKAYAMA1, Shimpei Shimono1, Md. Suruz Miya1, Kunio Okimura1 (1.Graduate School of Engineering, Tokai Univ.)
Keywords:
Vanadium dioxide,Titanium dioxide,Smart window
二酸化バナジウム(VO2)は68℃付近で電気抵抗値が大きく変化する絶縁体-金属転移(IMT)を示す. ZnO (酸化亜鉛)は六方晶系の結晶構造を有しており, VO2 との格子整合性が高いためバッファー層として使用してきた. しかし, 高温環境下ではZnOが拡散や化学反応を引き起こすため, ZnOに代わる高温安定性に優れた材料として酸化チタン(TiO2)をバッファー層に採用することを試みる.