講演情報
[8a-P05-8]TiO2をバッファー層とするガラス上VO2薄膜の作製と相転移特性に関する研究
〇(M1)若山 遼平1、下野 慎平1、モハメッド・シュルズ ミヤ1、沖村 邦雄1 (1.東海大院工)
キーワード：
二酸化バナジウム、二酸化チタン、スマートウィンドウ
二酸化バナジウム(VO2)は68℃付近で電気抵抗値が大きく変化する絶縁体-金属転移(IMT)を示す. ZnO (酸化亜鉛)は六方晶系の結晶構造を有しており, VO2 との格子整合性が高いためバッファー層として使用してきた. しかし, 高温環境下ではZnOが拡散や化学反応を引き起こすため, ZnOに代わる高温安定性に優れた材料として酸化チタン(TiO2)をバッファー層に採用することを試みる.