[8p-N106-1~11] 3.4 Laser system and materials

2:15 PM - 2:30 PM JST(5:15 AM - 5:30 AM UTC)

[8p-N106-4] Development of compact Optical Parametric Amplifier for 193 nm solid-state laser

〇Yasuaki Moriai^1,2, Kimihiro Omata¹, Hironori Igarashi², Atsushi Fuchimukai², Taisuke Miura², Takeshi Higashiguchi¹ (1.Utsunomiya Univ., 2.Gigaphoton Inc.)

Keywords:

Optical Parametric Amplifier,frequency conversion,DUV generation

193 nm固体レーザーは、近赤外光からの多段の非線形波長変換で193nm光を発生させるため、基本波である波長1030 nmと波長1553 nmの高出力化が求められる。我々は、これまで光パラメトリック発生(OPG)と光パラメトリック増幅(OPA)で1553 nm光源の小型化と高出力化を行ってきた。本講演では、さらなる小型化と低コスト化に向けた、OPGとOPAを1つの結晶で行うダブルパスOPA光源について報告する。