講演情報
[8p-N106-4]193 nm 固体レーザーのための小型光パラメトリック増幅器の開発
〇盛合 靖章1,2、小又 公拓1、五十嵐 裕紀2、淵向 篤2、三浦 泰祐2、東口 武史1 (1.宇都宮大学、2.ギガフォトン株式会社)
キーワード:
光パラメトリック増幅、波長変換、深紫外光発生
193 nm固体レーザーは、近赤外光からの多段の非線形波長変換で193nm光を発生させるため、基本波である波長1030 nmと波長1553 nmの高出力化が求められる。我々は、これまで光パラメトリック発生(OPG)と光パラメトリック増幅(OPA)で1553 nm光源の小型化と高出力化を行ってきた。本講演では、さらなる小型化と低コスト化に向けた、OPGとOPAを1つの結晶で行うダブルパスOPA光源について報告する。