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[8p-N202-13]Evaluation of electro-optic coefficient of micro-transfer-printed thin-film lithium niobate by using birefringent field-modulation imaging technique
〇Toshiya Murai1, Keishi Sunami2, Rai Kou1 (1.AIST PEIRC, 2.AIST CETRI)
Keywords:
thin-film liithium niobate,micro-transfer printing,electro-optic effect
我々はこれまで,スタンプで薄膜を剥離,そのまま任意基板に転写するμトランスファープリンティング(μ-TP)を用いた,光回路上ニオブ酸リチウム薄膜(TFLN)集積技術を開発してきた。強誘電薄膜は,剥離時に基板から受ける歪みの緩和によるEO特性変化が懸念される。今回μ-TPでTFLNを転写,複屈折変調イメージング法により転写膜のEO係数を評価した。得られたEO係数約32pm/Vはバルクの値と概ね一致した。