Presentation Information
[8p-N206-12]Investigation of hybrid integration technique with transfer printing assisted by atmospheric plasma treatment
〇(M2)Yuma Tachizaki1, Akinari Fujita1, Takahiro Ito1, Shuma Ito1, Takeru Yambe1, Yasuhiko Arakawa2, Yasutomo Ota1 (1.Keio Univ., 2.Nanoquine, The Univ. of Tokyo)
Keywords:
transfer printing,hybrid integration,plasma surface treatment
転写プリント法は、簡素なピックアンドプレース集積で自在かつ高度な異種材料光集積を可能とする技術として注目されている。しかし、転写先のレシーバー基板と転写対象のとの間の接着についての深い検討は進んでおらず、先行研究ではプラズマ表面処理の活用が検討されているが、その詳細はほとんど明らかになっていない。今回、実用性に優れた大気圧プラズマ処理装置を用い、半導体薄膜の転写プリント集積を行ったので報告する。