Presentation Information
[8p-N305-11]KCl concentration effect on oxide In2O3 semiconductor biosensor
〇Yiran Bao1, Yuzuru Takamura1, Daisuke Hirose1 (1.Jaist Univ)
Keywords:
Biosensor,Oxide TFT,Salt concentration dependence
講演の概要
酸化物薄膜トランジスタ（OxTFT）型バイオセンサは、水中でも高い安定性があり、低コスト生産も見込めるため、高感度バイオセンサとして魅力的である。一方で、多くの酸化物で、イオン透過性が報告されており、酸化物中のイオンの拡散が測定に悪影響を示す可能性もある。本研究では、チャネル材料にIn₂O₃を用いたOxTFT型バイオセンサにおいて、接触溶液中のKCl濃度によりデバイス特性がどのように変化するかを調べ、この影響を評価した。
酸化物薄膜トランジスタ（OxTFT）型バイオセンサは、水中でも高い安定性があり、低コスト生産も見込めるため、高感度バイオセンサとして魅力的である。一方で、多くの酸化物で、イオン透過性が報告されており、酸化物中のイオンの拡散が測定に悪影響を示す可能性もある。本研究では、チャネル材料にIn₂O₃を用いたOxTFT型バイオセンサにおいて、接触溶液中のKCl濃度によりデバイス特性がどのように変化するかを調べ、この影響を評価した。