講演情報
[8p-N305-11]酸化物半導体を用いたバイオセンサーにおけるKCL濃度の影響
〇鮑 一冉1、高村 禅1、廣瀬 大亮1 (1.北陸先端大)
キーワード：
バイオセンサ、酸化物TFT、塩濃度依存性
講演の概要
酸化物薄膜トランジスタ（OxTFT）型バイオセンサは、水中でも高い安定性があり、低コスト生産も見込めるため、高感度バイオセンサとして魅力的である。一方で、多くの酸化物で、イオン透過性が報告されており、酸化物中のイオンの拡散が測定に悪影響を示す可能性もある。本研究では、チャネル材料にIn₂O₃を用いたOxTFT型バイオセンサにおいて、接触溶液中のKCl濃度によりデバイス特性がどのように変化するかを調べ、この影響を評価した。
酸化物薄膜トランジスタ（OxTFT）型バイオセンサは、水中でも高い安定性があり、低コスト生産も見込めるため、高感度バイオセンサとして魅力的である。一方で、多くの酸化物で、イオン透過性が報告されており、酸化物中のイオンの拡散が測定に悪影響を示す可能性もある。本研究では、チャネル材料にIn₂O₃を用いたOxTFT型バイオセンサにおいて、接触溶液中のKCl濃度によりデバイス特性がどのように変化するかを調べ、この影響を評価した。