Presentation Information
[8p-N321-13]Comparison of cathodoluminescence of phosphorus-doped n-type diamond films with different hydrogen concentrations
〇Yuki Katamune1,2, Satoshi Inoshita1,2, Akira Izumi2, Tokuyuki Teraji1, Kenji Watanabe1, Satoshi Koizumi1 (1.NIMS, 2.Kyutech)
Keywords:
diamond,phosphorus doping,cathodoluminescence
n型ダイヤモンドでは，水素はリンドナーを不活性化すると考えられているが，結晶中の水素がリンドナーに及ぼす影響には不明な点が多い．本研究では，熱フィラメントCVD法で水素濃度が異なるリンドープダイヤモンド膜を成長し，カソードルミネッセンス法により結晶品質及び不純物状態を評価した．水素濃度が高い場合に励起子発光ピークにシフトが見られ，水素は応力・歪みを誘起する欠陥に伴って存在することを示唆する結果が得られた．