Presentation Information
[9a-N201-3]Investigation of Epitaxially Grown Piezoelectric Materials Utilizing Multi-Functional Interlayer and Their Piezoelectric Device Performance.
〇Masashi Seki1, Kensuke Kanda2, Ken Kijima1, Kimura Isao1, Kento Nakao1 (1.Gaianixx Inc., 2.Hyogo univ.)
Keywords:
epitaxially grown,Single crystal thin films
多能性中間膜による動的格子マッチングは、多様な材料のエピタキシャル成長を可能にする技術であり、従来困難とされてきた多層での高品質単結晶化を実現した。Pb(Zr,Ti)O3（PZT）薄膜の単結晶化を行い、従来の多結晶膜と比較して極めて高い性能を持つことを確認した。
圧電材料は電気機械変換が可能であり、自動車、電子機器、半導体、生物医学など幅広い分野においてMEMSを中心とした圧電デバイスの需要が急増しており、市場の大幅成長が予想されている。本報告では、圧電MEMS市場で注目されている、測距、距離画像、メディカルなどの幅広い応用を持つ圧電MEMS超音波トランスデューサ（pMUT）を単結晶PZT薄膜で試作し、優位性を実証した結果と、将来的なPZTのRoHS指令適用を見据え、非鉛材料である単結晶BiTiO3（BTO）薄膜の特性を報告する。
圧電材料は電気機械変換が可能であり、自動車、電子機器、半導体、生物医学など幅広い分野においてMEMSを中心とした圧電デバイスの需要が急増しており、市場の大幅成長が予想されている。本報告では、圧電MEMS市場で注目されている、測距、距離画像、メディカルなどの幅広い応用を持つ圧電MEMS超音波トランスデューサ（pMUT）を単結晶PZT薄膜で試作し、優位性を実証した結果と、将来的なPZTのRoHS指令適用を見据え、非鉛材料である単結晶BiTiO3（BTO）薄膜の特性を報告する。