Presentation Information
[9a-N323-4]Direct formation of InP films onto Si substrates utilizing a perfect wetting phenomenon of molten indium
〇(M1)Taiyo Matsunaga1, Imai Yuki1, Usami Noritaka1,2,3, Katsube Ryoji1 (1.Nagoya Univ, 2.IMaSS Nagoya Univ, 3.InFuS Nagoya Univ)
Keywords:
indium phosphide,perfect wetting,Interfacial reaction
MoOx/Mo/ガラス基板上におけるIn融液の完全濡れ現象が見出され、これを利用して、高品質InPを製膜できることが報告された。完全濡れの発現に必要なMoOxはアモルファス層で良いため、本手法は任意の基板上へ適用できる可能性があり、次世代デバイスへの展開が期待できる。本研究では、Si基板上に製膜したMoOx上におけるIII族金属の濡れ性を調査し、InP薄膜を形成することを目的とした。