[9a-P01-1~17] 6.2 Carbon-based thin films

[9a-P01-6] Thermal stability of QCM-type H₂ gas sensor with N-DLC film

〇(M2)Osuke Uemura¹, Yasushi Ishiguro², Kazuya Kanasugi¹, Takashi Tachiki², Kenji Hirakuri¹ (1.Tokyo Denki Univ., 2.National Defense Acad.)

Keywords:

diamond like carbon,hydrogen gas sensor,quartz crystal microbalance

我々は、シンプル構造で貴金属レス、室温動作可能な新規の水素ガスセンサの開発を進めている。これまでに、水晶振動子マイクロバランス (QCM: Quartz Crystal Microbalance) 法を基本とし、その水素感応膜に窒素含有ダイヤモンドライクカーボン (N-DLC: Nitrogen doped Diamond Like Carbon) 膜を適用することで、効果的に水素ガス応答することを確認している。本研究では、N-DLCによるQCM型水素ガスセンサの社会実装を目指した信頼性評価の一環として、N-DLC被覆QCM素子の熱安定性について調査した。