講演情報
[9a-P01-6]水素ガスセンサ用N-DLC被覆QCM素子の熱安定性評価
〇(M2)植村 皇介1、石黒 康志2、金杉 和弥1、立木 隆2、平栗 健二1 (1.東京電機大工、2.防衛大)
キーワード：
ダイヤモンド状炭素膜、水素ガスセンサ、水晶振動子マイクロバランス法
我々は、シンプル構造で貴金属レス、室温動作可能な新規の水素ガスセンサの開発を進めている。これまでに、水晶振動子マイクロバランス (QCM: Quartz Crystal Microbalance) 法を基本とし、その水素感応膜に窒素含有ダイヤモンドライクカーボン (N-DLC: Nitrogen doped Diamond Like Carbon) 膜を適用することで、効果的に水素ガス応答することを確認している。本研究では、N-DLCによるQCM型水素ガスセンサの社会実装を目指した信頼性評価の一環として、N-DLC被覆QCM素子の熱安定性について調査した。