Presentation Information
[9a-P02-10]A Study on Voltage-Induced Insulator-Metal Transition in VO2/AZO Multilayer Films
- Effect of Temperature Variation on the Transition Period of VO2 Films -
〇(M1)Tian Lan1, Peng Yu1, Rai Hiranabe1, Kunio Okimura1 (1.Graduate School, Tokai Univ.)
Keywords:
Vanadium dioxide,TCF,Thermal camera
VO2/AZO積層膜における電圧印加による絶縁体-金属転移（IMT）の光学特性変化と,その温度制御が転移速度に与える影響について報告する.反応性スパッタ法で作製したAZO膜上にVO2薄膜を堆積し,電圧を印加することでジュール熱によるIMTを誘起する.1450 nm赤外光の透過率測定やサーマルカメラによる温度分布解析から,膜表面の温度が不均一であることがわかり,これが相転移の不完全性や局所的過熱,デバイスの性能・応答速度に影響を与えていることを示した.温度管理の適正化が,高速な相転移と性能向上に重要であることを明らかにし,今後の性能向上に向けた新規構造について議論する.