Presentation Information
[9p-N306-10]Design of Polarization and Intensity Distribution for Laser Drilling of Micro Odd-Shaped Hole
〇Akio Mizutani1, Atsushi Kitamura1 (1.OMU)
Keywords:
Polarized beam,Hermite-Gaussian beam,Surrogate model
十字や星型など複雑な形状をもった微細穴加工の加工法として,偏光分布を持つビームによるアブレーション加工が提案されている.しかし,偏光分布のビーム設計手法は未確立であったため,目的の加工形状を入力として加工表面での偏光・強度分布を設計する手法を提案した.計算時間短縮のため,HGモード展開と偏光を考慮した加工シミュレータの代理モデルとしてU-netを用いた. 例としてY字穴に対する偏光・強度分布の設計結果を示す.