講演情報
[9p-N306-10]微小異形穴レーザ加工のための偏光・強度分布の設計
〇水谷 彰夫1、北村 篤史1 (1.大阪公大工)
キーワード：
偏光ビーム、エルミート・ガウシャンビーム、代理モデル
十字や星型など複雑な形状をもった微細穴加工の加工法として，偏光分布を持つビームによるアブレーション加工が提案されている．しかし，偏光分布のビーム設計手法は未確立であったため，目的の加工形状を入力として加工表面での偏光・強度分布を設計する手法を提案した．計算時間短縮のため，HGモード展開と偏光を考慮した加工シミュレータの代理モデルとしてU-netを用いた． 例としてY字穴に対する偏光・強度分布の設計結果を示す．