Presentation Information
[9p-N401-4]Effect of hydrogen plasma-induced nanostructure on hydrophobicity of Si surface
〇Kantaro Kobayashi1, Ken Sakamoto1, Jun Onoe1, Hiroaki Kakiuchi1, Hiromasa Ohmi1 (1.the Univ of Osaka)
Keywords:
nanocone,blacksilicon,hydrophobicity
我々は、廉価で無毒な水素ガスを主体とした非平衡・高密度プラズマによるSi表面への機能性ナノ構造形成プロセスを開発している。表面に付与されたナノ構造は、固液接触時の濡れ性に影響を与え、セルフクリーニング効果などの発現に重要な役割を果たすことが知られている。今回は、種々の構造特性（サイズ、間隔、複合構造）をもつナノ構造が、Si表面の水接触角に与える影響を調査したので、その結果を報告する。