講演情報
[9p-N401-4]水素プラズマ誘起ナノ構造がSi表面の撥水性に与える影響
〇小林 幹太朗1、坂本 健1、尾上 潤1、垣内 弘章1、大参 宏昌1 (1.阪大院工)
キーワード：
ナノコーン、ブラックシリコン、撥水性
我々は、廉価で無毒な水素ガスを主体とした非平衡・高密度プラズマによるSi表面への機能性ナノ構造形成プロセスを開発している。表面に付与されたナノ構造は、固液接触時の濡れ性に影響を与え、セルフクリーニング効果などの発現に重要な役割を果たすことが知られている。今回は、種々の構造特性（サイズ、間隔、複合構造）をもつナノ構造が、Si表面の水接触角に与える影響を調査したので、その結果を報告する。