[9p-N402-1~6] 3.7 Optical measurement, instrumentation, and sensor

5:30 PM - 5:45 PM JST(8:30 AM - 8:45 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[9p-N402-6] Simultaneous measurement of Complex Refractive Index and thickness by Tomographic Spectroscopy

〇(M1)Shuto Onodera¹, Satoe Murazawa¹, Yume Hashimoto¹, Bilkis Farjana¹, Tatsutosh Shioda¹ (1.Saitama Univ.)

Keywords:

Optical Coherence Tomography,Tomographic Spectroscopy,Complex Refractive Index

トモグラフィック分光法により、干渉光スペクトルからサンプル各界面からの振幅反射率スペクトルを求め、Kramers-Kronig変換を用いることで各層での複素屈折率を手前の層の干渉信号だけで漸化式的に算出できる方法を確立した。本稿ではシリコン基板を用いて実験を行い、各界面の干渉データを解析することで屈折率と厚さ、さらにシリコンの次の空気の層の屈折率までを同時に算出できることを確認した。