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4:45 PM - 5:00 PM JST(7:45 AM - 8:00 AM UTC)

[9p-N404-12]Evaluation of the Effect of SiO₂ Thickness on STJ Detectors with a Buffer Layer

〇Takaho Oguchi^1,2, Tsuyoshi Noguchi¹, Go Fujii², Tohru Taino¹ (1.Saitama Univ., 2.AIST)

Keywords:

superconductor,STJ

STJ検出器は高いエネルギー分解能を有する。しかし、基板で発生したフォノンノイズが、STJで直接吸収された低エネルギーX線によって生成される信号との比較を困難にしている。その解決策としてBuffer層の材料と構造の探索が行われ、結果、Ti/Au/Ti/SiO₂構造が最もフォノンノイズ低減に効果があると判明した。本研究ではBuffer層中の絶縁層として成膜されているSiO₂の膜厚に着目し、SiO₂のフォノンノイズへの寄与に関する調査を目的とした。

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[9p-N404-12]Evaluation of the Effect of SiO2 Thickness on STJ Detectors with a Buffer Layer

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[9p-N404-12]Evaluation of the Effect of SiO₂ Thickness on STJ Detectors with a Buffer Layer