Presentation Information
[9p-N405-13]Plume shape control by model predictive control in pulsed laser deposition
〇Kosuke Kawabata1, Tomoya Horide1, Yutaka Yoshida1 (1.Nagoya Univ.)
Keywords:
superconductor,Thin film production
YBa₂Cu₃O₇₋y 線材は次世代技術に不可欠であり、その製造には均一な特性を持つkm級の線材が必要である。現在、製造で用いられるPLD法では、レーザー照射時に発生するプルームの形状が特性に影響を与え、装置の安定性の限界によりプルーム形状が意図せず変動することが課題である。本研究ではプルームの時間変化を観測、データ科学を応用して予測モデルを構築し、プルームのサイズ変化を予測した。