講演情報
[9p-N405-13]パルスレーザー堆積法におけるモデル予測制御によるプルーム形状制御
〇川端 康介1、堀出 朋哉1、吉田 隆1 (1.名大工)
キーワード：
超伝導、薄膜作製
YBa₂Cu₃O₇₋y 線材は次世代技術に不可欠であり、その製造には均一な特性を持つkm級の線材が必要である。現在、製造で用いられるPLD法では、レーザー照射時に発生するプルームの形状が特性に影響を与え、装置の安定性の限界によりプルーム形状が意図せず変動することが課題である。本研究ではプルームの時間変化を観測、データ科学を応用して予測モデルを構築し、プルームのサイズ変化を予測した。