Presentation Information
[9p-N405-4]Analysis of crystal surface precipitates on YBa2Cu3Oy films and estimation of the phase diagram using machine learning
〇Ibuki Kato1, Ito Shunta1, Horide Tomoya1, Yoshida Yutaka1 (1.Nagoya Univ.)
Keywords:
superconductor,Vapor-Liquid-Solid deposition
Vapor-Liquid-Solid（VLS）成長法で作製されたYBCOの表面には液相残渣由来の特徴的な析出物が存在する。ターゲット組成と成膜温度を変更したYBCO薄膜の表面をSEMで観察し、析出物の大きさ、密度、形状から結晶成長機構をVLS成長と単純な気相成長に分類する。さらに、Phase Diagram Construction(PDC)アルゴリズムを用いて成長相分類図を作成し、VLS成長となる条件について議論する。