講演情報
[9p-N405-4]YBa2Cu3Oy薄膜の表面析出物解析及び機械学習を用いた相図推定
〇加藤 伊吹1、伊藤 駿汰1、堀出 朋哉1、吉田 隆1 (1.名大工)
キーワード：
超伝導、液相介在型気相成長
Vapor-Liquid-Solid（VLS）成長法で作製されたYBCOの表面には液相残渣由来の特徴的な析出物が存在する。ターゲット組成と成膜温度を変更したYBCO薄膜の表面をSEMで観察し、析出物の大きさ、密度、形状から結晶成長機構をVLS成長と単純な気相成長に分類する。さらに、Phase Diagram Construction(PDC)アルゴリズムを用いて成長相分類図を作成し、VLS成長となる条件について議論する。