Presentation Information

[9p-N405-5]Optimization of deposition conditions and microstructure analysis in YBCO-pure and YBCO+BHO thin films on IBAD substrates using machine learning

〇Shin Okumura1, Ataru Ichinose2, Tomoya Horide1, Yutaka Yoshida1 (1.Nagoya Univ., 2.CRIEPI)

Keywords:

Superconductor thin film,baysian optimization,PLD

機械学習を用いて、YBCO薄膜及びYBCO+BHO薄膜の作製条件の最適化とそれに伴う微細構造、臨界温度、臨界電流密度の変遷を検討する。磁場中高Jcを有する薄膜作製に必要な成膜パラメータと物理パラメータの相関を機械学習を用いて調査し、効率的な作製条件最適化プロセスの構築を目指す。