講演情報
[9p-N405-5]IBAD基板上YBCO-pure薄膜及びYBCO+BHO薄膜における機械学習を用いた成膜条件の最適化と微細構造の検討
〇奥村 慎1、一瀬 中2、堀出 朋哉1、吉田 隆1 (1.名大工、2.電中研)
キーワード：
高温超伝導薄膜、ベイズ最適化、PLD
機械学習を用いて、YBCO薄膜及びYBCO+BHO薄膜の作製条件の最適化とそれに伴う微細構造、臨界温度、臨界電流密度の変遷を検討する。磁場中高Jcを有する薄膜作製に必要な成膜パラメータと物理パラメータの相関を機械学習を用いて調査し、効率的な作製条件最適化プロセスの構築を目指す。