Presentation Information
[9p-N405-7]High-Tc NbN thin films on low-dielectric loss and flexible PTFE at ambient substrate temperature.
〇(M2)Rion Yamashita1, Keita Sakuma1, Naoto Sekiya1 (1.Yamanashi Univ.)
Keywords:
quantum computer,superconducting high-frequency cable,PTFE
超伝導量子コンピュータは量子ビット数が増加し，信号伝送/制御用高周波ケーブルの高密度化が求められている．高周波ケーブルの材料として誘電損失が低くフレキシブルなPTFE基板と比較的Tcの高いNbN薄膜導体線路を用いることにより高密度かつ低損失な高周波ケーブルが実現できると考えられる．本報告では，室温製膜においてPTFE基板上に高Tc-NbN薄膜を製膜するための条件を検討したので報告する．