[9p-N406-1~13] 1.6 Ultrasonics

1:15 PM - 1:30 PM JST(4:15 AM - 4:30 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[9p-N406-2] Analysis of SMR-type thickness-shear mode resonators

〇(M1)Hikaru Nakajima¹, Masashi Suzuki¹, Shoji Kakio¹, Yuji Ohashi², Jun-ichi Kushibiki³ (1.Univ. of Yamanashi, 2.Akita Prefectural Univ., 3.Tohoku Univ.)

Keywords:

bulk acoustic wave,thickness-shear mode resonator,acoustic reflective multilayer film

本報告では，SiO₂/Al₂O₃から成る音響反射多層膜を2段構造とし，下段と上段の音響多層膜を異なる膜厚に設定したSMR型平行電界励振厚みすべり振動子を提案する．厚みすべり振動に対して大きな電気機械結合係数K²_effを得ることができる120°Y- LiNbO₃を用いて，提案構造の共振特性を有限要素法により解析した結果を報告する．