[9p-N406-1~13] 1.6 超音波

13:15 〜 13:30奨励賞エントリー

[9p-N406-2] SMR型平行電界励振厚みすべり振動子の共振解析

〇(M1)中島 輝¹、鈴木 雅視¹、垣尾 省司¹、大橋 雄二²、櫛引 淳一³ (1.山梨大、2.秋田県大、3.東北大)

キーワード：

バルク波、厚みすべり振動子、音響反射多層膜

本報告では，SiO₂/Al₂O₃から成る音響反射多層膜を2段構造とし，下段と上段の音響多層膜を異なる膜厚に設定したSMR型平行電界励振厚みすべり振動子を提案する．厚みすべり振動に対して大きな電気機械結合係数K²_effを得ることができる120°Y- LiNbO₃を用いて，提案構造の共振特性を有限要素法により解析した結果を報告する．