[9p-N406-1~13] 1.6 Ultrasonics

1:45 PM - 2:00 PM JST(4:45 AM - 5:00 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[9p-N406-4] Analysis of leaky SAW propagation on Ca₃TaGa₃Si₂O₁₄/sapphire bonded structures

〇(M2)Yuya Kobayashi¹, Masashi Suzuki¹, Shoji Kakio¹, Noritoshi Kimura² (1.Univ. of Yamanashi, 2.Piezo Studio Inc.)

Keywords:

SAW device,Leaky SAW,CTGS

ランガサイト型結晶は，水晶の3~5倍の電気機械結合係数K²とゼロTCFを有する材料として注目されたが，材料コストが高い，結晶成長時の組成の制御が困難等の問題があった．一方，著者らは，単結晶内の均一性が高い等の利点を有するオーダー型ランガサイト結晶Ca₃TaGa₃Si₂O₁₄(CTGS)に注目した．本報告では，サファイアを支持基板としたAl-IDT/CTGS(0°, θ, 0°)/サファイア接合構造上のLSAW の共振特性とそのTCF を有限要素法(FEM)により解析した結果を報告する．