講演情報
[9p-N406-4]Ca3TaGa3Si2O14/サファイア接合構造上のリーキーSAW 伝搬特性の解析
〇(M2)小林 祐哉1、鈴木 雅視1、垣尾 省司1、木村 悟利2 (1.山梨大、2.Piezo Studio)
キーワード：
弾性表面波デバイス、リーキーSAW、オーダー型ランガサイト結晶
ランガサイト型結晶は，水晶の3~5倍の電気機械結合係数K2とゼロTCFを有する材料として注目されたが，材料コストが高い，結晶成長時の組成の制御が困難等の問題があった．一方，著者らは，単結晶内の均一性が高い等の利点を有するオーダー型ランガサイト結晶Ca3TaGa3Si2O14(CTGS)に注目した．本報告では，サファイアを支持基板としたAl-IDT/CTGS(0°, θ, 0°)/サファイア接合構造上のLSAW の共振特性とそのTCF を有限要素法(FEM)により解析した結果を報告する．