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[9p-N406-5]Analysis of longitudinal leaky SAW harmonics on piezoelectric substrates with periodic voids

〇(M2)Shumpei Kobayashi1, Masashi Suzuki1, Shoji Kakio1 (1.Univ. of Yamanashi)

Keywords:

SAW device,S0-mode Lamb wave,higher harmonics

当研究グループで提案された,周期的空隙を有する支持基板との接合構造で,S0モードラム波に近いLLSAW共振特性が得られることを明らかにしており,また,SAWは奇数次の高調波成分を含み,それらの励振強度は電極幅aとピッチpの比に依存することが知られている.本報告では,周期的空隙を有する接合構造上のLLSAW高調波の共振特性を有限要素法(FEM)により解析した結果を報告する.