講演情報
[9p-N406-5]周期的空隙を有する圧電基板上の縦型リーキーSAW高調波の解析
〇(M2)小林 駿平1、鈴木 雅視1、垣尾 省司1 (1.山梨大)
キーワード：
弾性表面波デバイス、S0モードラム波、高次高調波
当研究グループで提案された，周期的空隙を有する支持基板との接合構造で，S0モードラム波に近いLLSAW共振特性が得られることを明らかにしており，また，SAWは奇数次の高調波成分を含み，それらの励振強度は電極幅aとピッチpの比に依存することが知られている．本報告では，周期的空隙を有する接合構造上のLLSAW高調波の共振特性を有限要素法(FEM)により解析した結果を報告する．