Presentation Information

[9p-N406-6]SAW transverse mode suppression on LiNbO3/quartz bonded structures by voids placed under the electrode edges

〇(M1)Masahiro Kawahara1, Masashi Suzuki1, Shoji Kakio1 (1.Univ. of Yamanashi)

Keywords:

surface acoustic wave,transverse mode suppression

本研究では、LiNbO3は薄板と水晶支持基板との接合構造において,電極端部下の接合境界面に空隙を設けることによる新しい横モードの抑圧方法を提案する.高QなリーキーSAWの共振特性が得られる36°YX-LiNbO3水晶接合構造を用いて,提案構造の横モードを含む共振特性を有限要素法により解析した結果を報告する.