講演情報
[9p-N406-6]電極端部下に設置した空隙によるLiNbO3/水晶接合構造上のSAW横モード抑圧
〇(M1)川原 雅広1、鈴木 雅視1、垣尾 省司1 (1.山梨大)
キーワード:
弾性表面波、横モード抑圧
本研究では、LiNbO3は薄板と水晶支持基板との接合構造において,電極端部下の接合境界面に空隙を設けることによる新しい横モードの抑圧方法を提案する.高QなリーキーSAWの共振特性が得られる36°YX-LiNbO3水晶接合構造を用いて,提案構造の横モードを含む共振特性を有限要素法により解析した結果を報告する.