[14p-P01-1~26] 6.3 Oxide electronics

[14p-P01-2] Phase transition switching in VO₂ platelets via vertically applied voltages

〇(M2)Shingo Goto¹, Mitsuru Inada¹, Shingo Sato¹, Mahito Yamamoto¹ (1.Kansai Univ.)

Keywords:

vanadium dioxide,phase transition,switching device

二酸化バナジウム(VO₂)は室温近傍で超高速絶縁体―金属相転移を起こし、それに伴い電気抵抗値が巨大かつ急峻に変化することからスイッチングデバイスへの応用が期待されている。本研究では、物理気相成長法によって合成した膜厚100 nm前後のVO₂プレートレットを電極で挟み込み面直方向に電圧を印加することで、低電圧での相転移スイッチングの実現を試みた。